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Deposition of PZT thin film onto copper-coated polymer films by mean of pulsed-DC and RF-reactive sputtering
Typ der Veröffentlichung
Konferenzbeitrag
Veröffentlicht in
Proc. Of Twelfth International Conference on Plasma Surface EngineeringSeptember 13 - 17, 2010, in Garmisch-Partenkirchen, Germany
Schlagwörter
-
Jahrgang/Erscheinungsjahr
2010
Referiert
Nein
Berichtsjahr
2010
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