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Institut für Halbleiter- und Mikrosystemtech­nik

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Wichtige Themen im Überblick

Über uns

Das Institut für Halbleiter- und Mikrosystemtechnik wird von vier Professuren gebildet, die sich jeweils auf den Gebieten der  Halbleitertechnik, der Mikrosystemtechnik, der optoelektronischen Bauelemente und Systeme und der nanoelektronischen Materialien den neuen Herausforderungen der fortschreitenden Miniaturisierung der Mikrosysteme und insbesondere dem Einsatz neuer Werkstoffe und Wirkprinzipien in der Nanotechnik widmen. Die gemeinsame Nutzung technologischer Ressourcen findet insbesondere im Reinraum des IHM seinen Ausdruck. Hier existiert ein umfangreiches Portfolio an silizium-basierten technologischen Prozessen. Die Kompetenzen der IHM-Mitarbeiter erstrecken sich von der Elektrotechnik über Physik und Werkstofftechnik bis hin zur Chemie.