Veröffentlichte Journale
Combining Short and Long Scale Effects in Modeling of Chemical-Mechanical Planarization
Typ der Veröffentlichung
Zeitschriftenaufsatz
Veröffentlicht in
Journal of Chemical Science and Technology Jan. 2014
Schlagwörter
Chip-scale Modeling; Simulation; Interaction; Pad Roughness; Pattern Influence
Jahrgang/Erscheinungsjahr
2014
Band/Vol.
3
Heftnummer/Issue
1
Seiten
18-29
Referiert
Ja
Open Access
Nein
Berichtsjahr
2014
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