Veröffentlichte Journale
Method to determine the sticking coefficient of precursor molecules in atomic layer depostion
Typ der Veröffentlichung
Zeitschriftenaufsatz
Veröffentlicht in
Applied Surface Science
Schlagwörter
Atomic layer depostion, Sticking coefficient, Deep trench, Simulation, Free molecular flow, Surface chemistry
Jahrgang/Erscheinungsjahr
2009
Band/Vol.
255
Seiten
6620-6623
Referiert
Ja
ISSN
0169-4332
Url/Urn/Doi
10.1016/j.apsusc.2009.02.055
Berichtsjahr
2009
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