Published Journals
In-situ real-time ellipsometric investigations during the atomic layer deposition of ruthenium: A process development from [(ethylcyclopentadienyl)(pyrrolyl)ruthenium] and molecular oxygen
Typ der Veröffentlichung
Zeitschriftenaufsatz
Veröffentlicht in
Journal of Vacuum Science & Technology A: Vacuum, Surfaces, and Films 30 (2012), 01A151-01A151-9
Schlagwörter
ALD, Ru, spectroscopic ellipsometry, process development, in-situ analytics
Jahrgang/Erscheinungsjahr
2012
Referiert
Ja
Open Access
Nein
Url/Urn/Doi
Zugeordnete Forschungsschwerpunkte
- * Atomic Layer Deposition (ALD)
Berichtsjahr
2012
Export
Archive:
2015 | 2014 | 2013 | 2012 | 2011 | 2010 | 2009 | 2008 | 2007 | 2006 | 2005 | 2004