Veröffentlichte Journale
Investigation of Argon Plasma Damage on Ultra Low-κ Dielectrics
Typ der Veröffentlichung
Zeitschriftenaufsatz
Veröffentlicht in
ECS J. Solid State Sci. Technol. 2015
Schlagwörter
-
Jahrgang/Erscheinungsjahr
2015
Band/Vol.
4
Heftnummer/Issue
1
Seiten
N3023-N3028
Referiert
Ja
Open Access
Nein
Url/Urn/Doi
10.1149/2.0041501jss
Berichtsjahr
2015
Export
Journal Archiv:
2015 | 2014 | 2013 | 2012 | 2011 | 2010 | 2009 | 2008 | 2007 | 2006 | 2005 | 2004