abgeschlossene Promotionen & Habilitationen
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Untersuchung des Wachstumsverhaltens und der Bandlücke von ALD-hafniumbasierten Oxidschichten mittels winkelaufgelöster XPS
Art der Abschlussarbeit
Dissertation
Autoren
- Nawka, Stefan
Betreuer
- Prof. Dr. rer. nat. habil. Alexander Michaelis
Schlagwörter
Bandlücke, XPS, Hafnium
Berichtsjahr
2010