completed Doctorates & Habilitations
Filter: Field Engineering Sciences, Faculty of Mechanical Science and Engineering, Theses, Dissertation & Habilitation
Untersuchung des Wachstumsverhaltens und der Bandlücke von ALD-hafniumbasierten Oxidschichten mittels winkelaufgelöster XPS
Art der Abschlussarbeit
Dissertation
Autoren
- Nawka, Stefan
Betreuer
- Prof. Dr. rer. nat. habil. Alexander Michaelis
Schlagwörter
Bandlücke, XPS, Hafnium
Berichtsjahr
2010
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