abgeschlossene Promotionen & Habilitationen
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Erprobung neuartiger Konzepte und Materialien für die Integration mikromechanischer Bauelemente
Art der Abschlussarbeit
Dissertation
Autoren
- Röth, Andre
Betreuer
- Prof. Dr. rer. nat. habil. Cornelia Breitkopf
Schlagwörter
Mikroelektronik, Bauteilintegration
Berichtsjahr
2018